在深紫外（DUV，通常指200nm以下波长）光学系统的设计中，窗口片材料的选型直接影响系统的使用寿命和性能稳定性。以193nm ArF准分子...

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角锥棱镜又称立方角反射器，是基于立体直角结构的无源光学器件，由三个两两严格正交的光学反射面合围而成。 区别于普通平面反射镜的定向反...

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