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Zoolied可提供各种光学玻璃晶片 2024-9-6

    Zoolied提供各种光学玻璃晶片,例如虚拟硅晶片,JGS1晶片和K9晶片以及BK7晶片。ZOOLIED提供多种抗反射涂层选项,还提供无涂层光学玻璃晶片。



      硅片是制造半导体不可或缺的材料,半导体存在于我们生活中的各种电子设备中。硅片需要打磨成镜面般的超平盘,硅晶片表面的任何微小不规则现象都应尽可能去除,以使其成为世界上最平坦的物体。薄硅片是干净的,几乎没有颗粒和其他杂质。正是由于这些必要的品质,Zoolied选择硅片作为生产半导体的最佳衬底材料。

     
硅片的生产通常有以下步骤:
1) 长晶体,可分为CZ和FZ,因为熔融多晶材料会直接与石英坩埚接触,因此石英坩埚中的杂质会污染熔融多晶。CZ法适用于绘制大直径 (300毫米) 硅片,这是目前主要的半导体硅片材料。由于多晶原料不与石英坩埚接触,内部缺陷少,碳氧含量低,但价格昂贵,成本高。适用于大功率设备和一些高端产品。

2) 单晶硅棒的切片和拉伸需要切掉头尾材料,然后将其滚动并研磨到所需直径,切下平边或v形槽,再切成薄硅片。目前,金刚石线切割通常使用技术,效率高,硅片翘曲和曲率好。可以用内圆切割少量的特殊形状的碎片。

3) 磨削: 切片后,需要通过磨削去除切割表面上的损坏层,以确保硅片表面的质量,约50um。

4) 腐蚀: 腐蚀是为了进一步去除由于切割和研磨而引起的损坏层,从而为以下抛光过程做准备。腐蚀通常包括碱腐蚀和酸腐蚀。目前,由于环境因素,大多数采用碱腐蚀。腐蚀的去除量可以达到30-40um,表面粗糙度也可以达到微米级。

5) 抛光: 抛光是硅片生产的重要工艺。抛光是通过CMP (化学机械抛光) 技术进一步提高硅片的表面质量,使其能够满足芯片生产的要求。抛光后,表面粗糙度通常为RA < 5A。

6) 清洁和包装: 随着集成电路的线宽越来越小,对提高粒度指数越来越高。清洗和封装也是硅片生产的重要工艺。大多数附着在硅片表面> 0.3um的颗粒可以通过兆音速清洗来清洗,然后可以通过真空密封包装或惰性气体包装制成硅片表面,并带有免清洁的插头盒,表面清洁度满足IC的要求。

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